Die Frischluft und Rückluft im Luftversorgungssystem der Reinraumluftreinigung Projekt werden in der Klimaanlage (AHU) gemischt des Maschinenraums der Klimaanlage und dann nach einer Reihe von Filtrations- und Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungen durch die Luftzufuhrleitung an die Oberseite des Reinraums geschickt, und dann in die saubere Werkstatt geschickt, nachdem sie von einem Hochleistungsfilter oben gefiltert wurden Die Rückluft wird über die Rückluftleitung unten oder oben im Reinraum zur Klimaanlage im Raum der Klimamaschine zurückgezogen Die Rückluft wird neu gemischt mit frischer Luft in der Klimaanlage zur Hin- und Herbewegung This ist der Arbeitsprozess des Luftzufuhr- und -rückluftsystems des Reinraums, der in der Reinraumindustrie üblich ist Zu Von Unter dem Gesichtspunkt der Betriebsökonomie und der Energieeinsparung wird diese Art von primärem Rückluftversorgungssystem meist bei relativ niedrigem Reinheitsgrad verwendet, die Anzahl der Luftwechsel ist gering, das Gesamtluftvolumen ist gering, die Wärmeerzeugung in Innenräumen ist groß und die Lufttemperaturdifferenz ist groß. Die saubere Werkstatt der Elektronikindustrie, dh das Luftzufuhrvolumen der Klimaanlage, das Abwärme und Feuchtigkeit eliminiert, ist ähnlich oder gleich wie das Reinigungsluft Volumen und erfordert kein Wiedererhitzen oder ein System mit weniger Wiedererhitzung. es ist vernünftig und machbar Wenn Das Luftzufuhrvolumen ist groß, die Wärmeerzeugung in Innenräumen ist gering und die Temperaturdifferenz der Luftzufuhr ist relativ gering, die erforderliche Wiedererwärmung ist groß und die Betriebsökonomie ist schlecht Zu This Form der sauberen Rückluft wird meist im Luftversorgungssystem von verwendet industrielle Reinräume mit niedrigeren Reinigungsniveaus von ISO8 und ISO9 und eine höhere Wärmeerzeugung in Innenräumen, dh die Luftzufuhr der Klimaanlage und die Reinigungsluftzufuhr sind das gleiche oder ein ähnliches System

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