Um die erforderliche Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Windgeschwindigkeit, Druck und Sauberkeit im Reinraum aufrechtzuerhalten, wird am häufigsten eine bestimmte Menge aufbereiteter Luft in den Raum geleitet, um verschiedene Wärme- und Feuchtigkeitsstörungen sowie Staubbelastungen im Raum zu beseitigen der Reinraum. . Um die Luft in einem bestimmten Zustand in den Reinraum zu bringen, ist eine ganze Reihe von Geräten erforderlich, um die Luft zu verarbeiten, die kontinuierlich in den Raum geleitet und zum Teil kontinuierlich aus dem Raum abgeführt wird. Dieser ganze Gerätesatz bildet ein saubere Klimaanlage.

Außenluft W wird nach Reinigung, Kühlung, Entfeuchtung und Wiedererwärmung durch die Frischlufteinheit an die Decke geleitet. Um die Temperatur- und Feuchteregelung des Reinraums stabiler zu gestalten, wird die aufbereitete Frischluft in der Regel an den Sollzustand N des Reinraums angepasst und die DDC (Direct Digital Control) realisiert die präzise Steuerung der gereinigten Frischluft . Da die Frischlufteinheit eine Sprühstrecke und eine Nachheizstrecke zum Sprühen von sauberem Wasser verwendet, sollte Punkt L der Taupunkt der Frischluftmaschine sein, der sich vertikal unter Punkt N befindet. Die von der installierten FFU behandelte Rückluft im H-Zustand am Abluftkanal wird mit der vom Frischluftgerät in der Decke aufbereiteten Frischluft zur O-Zustands-Zuluft gemischt und anschließend durch dieF FU in den Reinraum. Die nach Innen geleitete saubere Luft wird nach Aufnahme fühlbarer Wärme in den Innenzustand N, von der ein Teil durch die Absaugvorrichtung der Prozessausrüstung nach außen abgeführt wird und der andere Teil nach der FFU-Behandlung wiederverwendet wird.

Wonzone Verpflichtet Reinraumdeckensysteme、FFU-Deckenrastersystem und HPL-Deckensystem usw.