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Diskussion über den Luftstrom im Reinraum

Jan 23, 2021
Die Sauberkeit eines Reinraums wird häufig durch den Luftstrom beeinträchtigt Mit anderen Worten, die Bewegung und Diffusion von Staub, der von Menschen, Maschinenräumen und Gebäudestrukturen erzeugt wird, wird vom Luftstrom dominiert

Der Reinraum verwendet HEPA und ULPA um die Luft zu filtern, und ihre Staubsammelrate beträgt 99,97 ~ 99,99995%, so dass die von diesem Filter gefilterte Luft als sehr sauber bezeichnet werden kann Zusätzlich zu Menschen gibt es jedoch Staubquellen in der sauberes Zimmer wie Maschinen. Sobald sich der erzeugte Staub ausbreitet, kann der saubere Raum nicht mehr gepflegt werden Daher muss ein Luftstrom verwendet werden, um den erzeugten Staub schnell nach außen abzuleiten

Windgeschwindigkeitsregelung
Der Luftstrom im Reinraum ist ein wichtiger Faktor, der die Leistung des Reinraums beeinflusst Im Allgemeinen wird die Luftströmungsgeschwindigkeit des Reinraums zwischen 0,25 ~ 0,5 m / s gewählt This Die Luftströmungsgeschwindigkeit gehört zum Brisenbereich, der anfällig für Störungen durch Personen, Maschinen usw. ist und dazu neigt, chaotisch zu sein , Obwohl Eine Erhöhung der Windgeschwindigkeit kann den Einfluss dieser Störung unterdrücken und die Sauberkeit aufrechterhalten. Die Erhöhung der Windgeschwindigkeit wirkt sich auf die Erhöhung der Betriebskosten aus Daher sollte es sollte in der Lage sein, mit der am besten geeigneten Windgeschwindigkeit zu liefern wenn Der erforderliche Reinheitsgrad ist erfüllt. eine angemessene Windgeschwindigkeitsversorgung erreichen, um wirtschaftliche Ergebnisse zu erzielen

Andererseits ist die Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Luftstroms auch ein wichtiger Faktor, um einen stabilen Effekt der Reinraumreinheit zu erzielen Wenn gleichmäßiger Luftstrom kann nicht beibehalten werden, bedeutet dies, dass die Windgeschwindigkeit unterschiedlich ist. Insbesondere an der Wand erzeugt der Luftstrom einen Wirbel entlang der Wand Das Erreichen einer hohen Sauberkeit ist eigentlich sehr schwierig

Zu Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Luftstroms in vertikaler Laminarströmungsrichtung, muss sein:

(A) es darf keinen Geschwindigkeitsunterschied in der Windgeschwindigkeit auf der wehenden Oberfläche geben;

(B) dort sollte kein Unterschied in der Windgeschwindigkeit auf der Saugfläche der Bodenrückluftplatte sein Wenn Wenn die Geschwindigkeit zu niedrig oder zu hoch ist (0,2 m / s, 0,7 m / s), treten Wirbelströme auf. bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m / s ist der Luftstrom gleichmäßiger Im Allgemeinen beträgt die Windgeschwindigkeit eines Reinraums 0,25 ~ 0,5 m / s zwischen

beeinflussende Faktoren

Es gibt viele Luftströmungsfaktoren, die den Reinraum beeinflussen, wie z. B. Prozessausrüstung, Personal, Reinraum-Montagematerialien , Beleuchtungsgeräte usw. gleichzeitig sollte der Umleitungspunkt des Luftstroms über der Produktionsausrüstung auch berücksichtigt werden
Im Allgemeinen sollte der Luftstromumleitungspunkt auf der Oberfläche des Operationstisches oder der Produktionsausrüstung in der Entfernung zwischen dem Reinraum und dem Reinraum Trennwand 2 / 3, so dass der Luftstrom von strömen kann das Innere des Prozessbereichs zum Arbeitsbereich when Der Operator arbeitet Der Staub wird weggenommen; Wenn sich der Umleitungspunkt vor dem Prozessbereich befindet, wird dies zu einem falschen Luftstrom Zu diesem Zeitpunkt strömt der größte Teil des Luftstroms in den Prozessbereich und der durch den Bediener verursachte Staub Der Betrieb erfolgt auf der Rückseite des Geräts. Infolgedessen wird Taiwan kontaminiert und die Ertragsrate wird unvermeidlich sinken
Hindernisse wie Arbeitstische im Reinraum haben Wirbelströme an den Kreuzungen und die Sauberkeit in der Nähe wird relativ arm sein Durch Bohren von Rückluftlöchern auf dem Arbeitstisch werden die Wirbelströme minimiert Montage Ob Die Auswahl der Materialien ist angemessen und das Layout der Ausrüstung ist perfekt. Dies sind auch wichtige Faktoren für ob Der Luftstrom wird zu einem Wirbelphänomen
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