Die Indexanforderungen Und Prüfmethoden Für Reinräume

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Reinraumindexanforderungen und Prüfmethoden

Jan 30, 2021

Reinraum bezieht sich auf die Entfernung von Partikeln, schädlicher Luft, Bakterien und anderen Schadstoffen in der Luft in einem bestimmten Raum sowie auf die Kontrolle von Innentemperatur, Sauberkeit, Innendruck, Luftgeschwindigkeit und Luftverteilung, Lärm, Vibration, Beleuchtung und statischer Aufladung Elektrizität innerhalb eines bestimmten Bedarfsbereichs und mit einem speziell gestalteten Raum Das ist, egal wie Wenn sich die Außenluftbedingungen ändern, kann der Raum die ursprünglich festgelegten Anforderungen an Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck erfüllen. Die Hauptfunktion des Reinraums besteht darin, die Sauberkeit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit der Atmosphäre zu kontrollieren, in der sich die Produkte befinden (z. B. Siliziumchips usw.) Kontakt, damit die Produkte in einer guten Umgebung hergestellt und hergestellt werden können This Raum heißt Reinraum
1. Indikatoren für Reinraum

1 kategorisiert Die Luftversorgung in der sauberes Zimmer ist ausreichend, um die Verschmutzung in Innenräumen zu verdünnen oder zu beseitigen

2 Produktname Die Luft im Reinraum strömt aus der saubere Bereich zu dem Bereich mit schlechter Sauberkeit, der Luftstrom erreicht das Minimum und die Luft strömt in der richtigen Richtung an der Tür und im Innengebäude

3 befinden Die Luftzufuhr im Reinraum erhöht die Verschmutzung in Innenräumen nicht wesentlich
4ells Der Bewegungszustand der Raumluft kann sicherstellen, dass sich im geheimen Raum kein Sammelbereich mit hoher Konzentration befindet

2 Reinraum Test

1. Luftzufuhr- und Abluftmenge Wenn es ist ein turbulenter Reinraum, das Luftzufuhr- und Abluftvolumen muss gemessen werden Wenn Wenn es sich um einen Einweg-Reinraum handelt, muss die Windgeschwindigkeit gemessen werden

2. Luftstromregelung zwischen Bereichen: Zu beweisen, dass die Bewegungsrichtung des Luftstroms zwischen den Bereichen korrekt ist, d. h. Strömung von Um den sauberen Bereich in den Bereich mit schlechter Sauberkeit zu bringen, muss Folgendes überprüft werden:
(1) Die Druckdifferenz in jedem Abschnitt ist korrekt;
(2) Die Richtung der Luftbewegung an der Tür oder an den Öffnungen an Wand, Boden usw. ist korrekt, dh sie fließt von der saubere Bereich zum schlecht sauberen Bereich.
3. Filterlecksuche : Die hocheffiziente Filter und sein Rahmen überprüft werden, um sicherzustellen, dass suspendierte Schadstoffe nicht durch: gelangen

(1) beschädigter Filter;

(2) Die Lücke zwischen dem Filter und seinem äußeren Rahmen;

(3) andere Teile des Filtergeräts dringen in den Raum ein.

4. Isolationslecksuche : This Test soll nachweisen, dass suspendierte Schadstoffe nicht in die Baustoffe eindringen den sauberen Raum

5 Raumluftstromregelung : Die Art des Luftstromkontrolltests hängt vom Luftströmungsmuster des Reinraumturbulenten ab Flow oder unidirektionaler Flow. Wenn der Luftstrom im Reinraum ist turbulent, es muss überprüft werden, dass sich kein Raum mit unzureichendem Luftstrom im Raum befindet Wenn Da es sich um einen Einweg-Reinraum handelt, muss überprüft werden, ob die Windgeschwindigkeit und -richtung des gesamten Raums den Entwurfsanforderungen entsprechen

6. Schwebeteilchenkonzentration und mikrobielle Konzentration: Wenn die obigen Tests erfüllen die Anforderungen, die Partikelkonzentration und die mikrobielle Konzentration (falls erforderlich) werden schließlich gemessen, um zu überprüfen, ob sie Treffen Sie die technischen Bedingungen des Reinraums design.
7. andere Tests : neben den oben genannten Umweltkontrollprüfungen müssen manchmal eine oder mehrere der folgenden Prüfungen durchgeführt werden out: