Reinraum bedeutet, die Luft in einem bestimmten Raum von Partikeln, Schadstoffen, Bakterien und anderen Schadstoffen zu befreien und Temperatur, Sauberkeit, Druck, Luftgeschwindigkeit und -verteilung, Lärm, Vibrationen, Beleuchtung und statischer Elektrizität in einem bestimmten Bereich zu regulieren. Dies geschieht in einem speziell dafür eingerichteten Raum. So können die ursprünglichen Anforderungen an Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck unabhängig von den äußeren Luftbedingungen aufrechterhalten werden. Die Hauptfunktion eines Reinraums besteht darin, Sauberkeit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit in der Umgebung zu regulieren, in der die Produkte (wie Siliziumchips usw.) in Kontakt kommen, damit die Produkte in einem umweltfreundlichen Raum hergestellt und produziert werden können. Dieser Raum wird als Reinraum bezeichnet.

Eins. Indikatoren für einen Reinraum.

1. Die Luftzufuhr im Reinraum ist ausreichend, um die im Raum entstehende Verschmutzung zu verdünnen oder zu beseitigen.

2. Die Luft im Reinraum strömt vom sauberen Bereich in den Bereich mit schlechter Sauberkeit. Der Strom kontaminierter Luft erreicht den niedrigsten Stand und die Luft strömt an der Tür und im Innengebäude in die richtige Richtung.

3. Die Luftzufuhr im Reinraum wird die Innenraumverschmutzung nicht wesentlich erhöhen.

4. Der Bewegungszustand der Raumluft kann sicherstellen, dass sich im Geheimraum kein Bereich mit hoher Konzentration ansammelt.

Zwei. Reinraumtests.

1. Zu- und Abluftmenge: Handelt es sich um einen turbulenten Reinraum, muss die Zu- und Abluftmenge gemessen werden. Handelt es sich um einen Reinraum mit Einwegströmung, muss die Windgeschwindigkeit gemessen werden.

2. Luftstromkontrolle zwischen den einzelnen Zonen: Um sicherzustellen, dass die Luftstromrichtung zwischen den einzelnen Zonen korrekt ist, d. h. vom sauberen Bereich in den mangelhaft sauberen Bereich fließt, muss Folgendes überprüft werden:

(1) Der Druckunterschied in jedem Abschnitt ist korrekt.

( 2) Die Richtung der Luftbewegung an der Türöffnung oder an Öffnungen in der Wand, am Boden usw. ist korrekt, d. h., sie strömt vom sauberen Bereich in den Bereich mit mangelhafter Sauberkeit.

3. Filterlecksuche: Der Hochleistungsfilter und sein Rahmen sollten überprüft werden, um sicherzustellen, dass keine Schwebstoffe durchdringen: (1) Beschädigter Filter; (2) Der Spalt zwischen dem Filter und seinem Außenrahmen;

(3) Andere Teile der Filteranlage gelangen in den Raum.

4. Isolationslecksuche: Dieser Test soll nachweisen, dass keine Schwebstoffe durch die Baumaterialien in den Reinraum gelangen.

5. Luftstromregelung im Raum: Die Art der Luftstromregelung hängt vom Luftstrommodus des Reinraums ab – turbulente Strömung oder unidirektionale Strömung. Bei turbulenter Luftströmung im Reinraum muss sichergestellt werden, dass es keine Bereiche mit unzureichender Luftströmung im Raum gibt. Handelt es sich um einen Reinraum mit Einwegströmung, muss sichergestellt werden, dass Windgeschwindigkeit und -richtung im gesamten Raum den Konstruktionsanforderungen entsprechen.

6. Schwebstoffkonzentration und Mikrobenkonzentration: Wenn die oben genannten Tests die Anforderungen erfüllen, werden abschließend die Partikelkonzentration und die Mikrobenkonzentration (falls erforderlich) gemessen, um zu überprüfen, ob sie den technischen Bedingungen des Reinraumdesigns entsprechen.

7. Weitere Prüfungen: Zusätzlich zu den oben genannten Schadstoffprüfungen müssen manchmal eine oder mehrere der folgenden Prüfungen durchgeführt werden: Temperatur, relative Luftfeuchtigkeit, Heiz- und Kühlleistung im Innenbereich, Geräuschwert, Lichtintensität, Vibrationswert

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