Reinräume sind kontrollierte Umgebungen mit einem geringen Anteil an luftgetragenen Partikeln und Schadstoffen. Die in einem Reinraum enthaltene Ausrüstung kann je nach den spezifischen Bedürfnissen und Anforderungen der Einrichtung variieren. Hier sind einige gängige Arten von Reinraumgeräten:

1. HVAC-Systeme (Heizung, Lüftung und Klimaanlage): Reinräume sind zur Steuerung von Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Luftfiltration auf HVAC-Systeme angewiesen. Das HVAC-System sorgt für eine kontinuierliche Versorgung mit gefilterter und klimatisierter Luft, um den gewünschten Sauberkeitsgrad im Raum aufrechtzuerhalten.

2. Luftfilter: Hocheffiziente Partikelluftfilter (HEPA) oder Ultra-Low Particulate Air (ULPA)-Filter werden verwendet, um Partikel und Schadstoffe aus der Luft zu entfernen. Diese Filter werden in den Lüftungsgeräten und Reinraumluftauslässen installiert, um eine saubere und partikelfreie Umgebung zu gewährleisten.

3. Saubere Bänke und Arbeitsplätze: Saubere Bänke sind geschlossene Arbeitsplätze, die mit einer HEPA-gefilterten Luftversorgung ausgestattet sind. Sie bieten eine örtlich begrenzte, saubere und sterile Umgebung für die Durchführung spezifischer Aufgaben, wie zum Beispiel den Umgang mit empfindlichen Materialien oder die Durchführung von Experimenten.

4. Luftduschen : Luftduschen sind Kammern, die mit Hochgeschwindigkeits-Luftstrahlen ausgestattet sind, die Partikel von Personal oder Geräten abblasen, bevor sie in den Reinraum gelangen. Sie tragen dazu bei, die Kontamination zu reduzieren, indem sie lose Partikel von Oberflächen und Kleidung entfernen.

5. Durchgangskammern: Durchgangskammern werden verwendet, um Materialien und Geräte zwischen dem Reinraum und den angrenzenden Bereichen ohne Kreuzkontamination zu transportieren. Sie verfügen über ineinandergreifende Türen, die es ermöglichen, jeweils eine Tür zu öffnen, um die Trennung zwischen sauberen und nicht sauberen Bereichen aufrechtzuerhalten.

6. Laminar-Flow-Schränke : Laminar-Flow-Schränke erzeugen einen unidirektionalen Luftstrom über dem Arbeitsbereich und bieten eine sterile Umgebung für den Umgang mit empfindlichen Geräten oder die Durchführung von Verfahren, die ein hohes Maß an Sauberkeit erfordern.

7. Reinraummöbel : Reinräume können spezielle Möbel wie Werkbänke aus Edelstahl, Lagerschränke, Materialtransferwagen und Stühle umfassen, die so gestaltet sind, dass sie die Partikelbildung minimieren und eine einfache Reinigung ermöglichen.

8. Überwachungs- und Kontrollsysteme: Reinräume sind mit Überwachungs- und Kontrollsystemen ausgestattet, um Umgebungsparameter wie Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Luftdruckunterschiede, Partikelanzahl und Luftstromgeschwindigkeit aufrechtzuerhalten und zu überwachen. Diese Systeme stellen sicher, dass die Reinraumbedingungen innerhalb der vorgegebenen Bereiche liegen.

9. ESD-Kontrollausrüstung (elektrostatische Entladung): Abhängig von den Anforderungen des Reinraums können Kontrollausrüstung für elektrostatische Entladung wie geerdete Fußböden, antistatische Kleidung, Armbänder und Schuhe verwendet werden, um Schäden an empfindlichen elektronischen Komponenten zu verhindern.

Es ist wichtig zu beachten, dass die spezifische Ausrüstung in einem Reinraum je nach Branche, Reinraumklassifizierung und den spezifischen Prozessen, die in der Reinraumumgebung durchgeführt werden, variieren kann.