Die Anforderungen der Elektronikindustrie an Reinräume in Reinräumen müssen ausgestattet sein mit
Luftduschen
, saubere Schuppen, FFU-Reinigungseinheiten, Hochleistungsfilter, Hochleistungsluftauslässe und Transferfenster. Ihre Anforderungen entsprechen dem Standard, auch wenn diese Geräte nicht vorhanden sind.
Die Anforderungen der Elektronikindustrie an Reinräume in
saubere Zimmer
: Reinräume werden auch Reinwerkstätten, Reinräume, Reinräume genannt. In Elektronikfabriken gibt es viele Arten von Produktionsprozessen, darunter die Herstellung integrierter Schaltkreise (unterteilt in Fotomasken, Front- und Rückprozesse), die Herstellung von Pingnan-Displays (unterteilt in LCD, PDP, TFT, VFD, Bildröhre), die Herstellung von Siliziummaterialien (monokristallines Silizium, Polysilizium), die Herstellung von Glasfasern, die Herstellung von Karten, die Oberflächenmontage (SMT), die Herstellung von Trennvorrichtungen (Stromröhren der ersten, zweiten und dritten Ebene, Kondensatoren, Widerstände), die Herstellung kompletter Maschinenmontagen (Set-Top-Boxen, Digitalprojektoren, elektronische Digitalkameras), die Herstellung automatischer Steuerungskomponenten (Sensoren, Aktuatoren) usw.
Aufgrund der Vielfalt der Produktionsprozesse sind die Anforderungen an den Sauberkeitsgrad unterschiedlich: hoch ist hoch und niedrig ist niedrig. Auch die Anforderungen an die Partikelgrößenkontrolle sind unterschiedlich und liegen im Bereich von etwa 0,1 bis 5 µm. Die Anforderungen an die Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle sind relativ hoch. Beispielsweise erfordern die vorherigen Schritte integrierter Schaltkreise im Allgemeinen eine Basistemperatur von 22 °C (Genauigkeit ± 0,1 bis ± 1 °C) und eine relative Feuchtigkeitsbasis von 40 % (Genauigkeit ± 2 bis ± 5 °C; der für positive Druckwerte erforderliche Gradientenpegel beträgt: Der Sauberkeitsgrad ändert sich von hoch nach niedrig, der Unterschied beträgt 5 bis 10 Pa.
Die Kühlleistung der staubfreien Werkstatt im
Elektronikindustrie
ist viel größer als in anderen Branchen und die Kühlleistung der Einheit beträgt 400 bis 500 W/m². Aufgrund der großen Kühlleistung ist im Winter im Allgemeinen auch eine Kühlung erforderlich, was ein Merkmal der Elektronikindustrie ist.
Im Produktionsprozess der Elektronikindustrie entstehen viele Arten schädlicher Gase. Die Mengen sind groß, sodass auch der Bedarf an Abluft und Frischluft hoch ist. Energiesparmaßnahmen bei der Abluft sind ebenfalls ein Merkmal der Branche. Vor der Einleitung sollte eine Behandlung durchgeführt werden, um die Abluft umweltfreundlich zu gestalten.
Der Produktionsprozess in der Elektronikindustrie stellt Anforderungen an die Antistatik und Vibrationsfestigkeit. Außerdem gibt es viele Arten von Massengasen und Spezialgasen, die eine hohe Reinheit und Sauberkeit erfordern:
1. Geräuschpegel (Leerzustand) eines Reinraums der Stufe 10.000 in einer Elektronikfabrik: sollte nicht höher als 65 dB (A) sein.
2. Der Reinraum im Reinraum der Elektronikfabrik sollte nicht weniger als 60 % gefüllt sein, und der Reinraum mit horizontalem unidirektionalem Fluss sollte nicht weniger als 40 % gefüllt sein, da es sich sonst um einen teilweisen unidirektionalen Fluss handelt.
3. Der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum und dem Außenbereich des Elektronikherstellers sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum und dem Nicht-Reinraum mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen
4. Die Frischluftmenge im Reinraum der Elektronikfertigungsindustrie mit einer Füllhöhe von 10.000 Metern sollte das Maximum der folgenden beiden Faktoren erreichen:
5. Die Summe aus dem Raumluftvolumen und der Frischluftmenge, die zur Aufrechterhaltung des positiven Raumdrucks erforderlich ist.
6. Stellen Sie sicher, dass die Frischluftmenge pro Person und Stunde im Reinraum nicht weniger als 40 m3 beträgt.
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