(a) Prinzip der Reinigung von Klimaanlagen

1, Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und ihre Genauigkeit des gleichen oder ähnlichen Reinraums sollte in eine Reinigungsklimaanlage unterteilt werden. leicht zu kontrollierende Sauberkeit sowie Temperatur und Luftfeuchtigkeit. 2. Der Reinraum nahe beieinander sollte als ein System eingestuft werden, das die Länge der Systemrohrleitungen und die Überkreuzung von Rohrleitungen verringern kann.

3. Wenn die Bedingungen dies zulassen, kann die Mischstrom-Reinigungsklimaanlage aus 4, 5 unidirektionalen Strömen und 6, 7 und 8 nicht unidirektionalen Strömen bestehen.

4, Reinraum sollte nicht mit der allgemeinen Klimaanlage als System kombiniert werden.

5, verwenden Sie das Gesetz und verwenden Sie Zeit ist nicht das gleiche, wie der Reinraum nicht für eine Reinigungsklimaanlage verwendbar ist.

6, Staubentwicklung, Hitze, Schadstoffe, Lärm Raum sollte als separates System ausgelegt werden.

7. Räume, die hochgiftig sind und nach dem Mischen Feuer und Explosion verursachen, dürfen nicht zu einer Reinigungsklimaanlage zusammengefasst werden.

8, es gibt hochgiftige und brennbare und explosive a, b Raum sollte ein separates System sein, und sollte nicht die Luft-Gleichstrom-System zurückgeben.

9, eine Reinigungsklimaanlage ist nicht einfach zu groß zu sein. Im Allgemeinen sollte das Fördervolumen der Reinigungsluft 100.000 m nicht überschreiten. Andernfalls ist die Luftaufbereitungsanlage zu groß, laut, der Rückluftkanal ist groß, nimmt viel Platz und Fläche ein und der Einsatz ist nicht flexibel.

10, saubere Klimaanlage Division sollte auch den Luftkanal, Rücklaufkanal, Abluftkanal und Wasser, Strom, Gas und andere Rohrleitungen Layout, so weit wie möglich, um eine vernünftige, kurze, einfach zu bedienende Verwaltung zu machen, die Kreuzung zu reduzieren und Überlappung.

11. Die Wärme-, Feuchtigkeits- und Reinigungsbehandlung der Frischluft in der Klimaanlage kann zentral oder dezentral erfolgen

das Prinzip der Aufteilung des lokalen Abluftsystems der Prozessausrüstung

1. Das partielle Abluftsystem der Prozessausrüstung sollte nicht zu groß sein und die Abluftpunkte jedes Abluftsystems sollten nicht zu groß sein, damit das Abluftmanagement und die Einstellung bequem sind und die Abluftwirkung gut ist .

2. Ein Abluftsystem sollte nicht zwei oder mehr Reinigungsklimasysteme kreuzen.

3. Die Abluft, die nach dem Mischen hochgiftige, explosive, brandfördernde, kondensierende, kristallisierende und schädliche Stoffe erzeugt, darf nicht zu einem Abluftsystem zusammengefasst werden.

4. Die Abluft verschiedener Räume und Geräte sollte nicht zu einem Abluftsystem zusammengefasst werden.

5. Vergleich und Auswahl der Luftversorgungsart der Reinraumklimaanlage

(a) kombinierte Luftversorgungsart für die Reinigung und Klimatisierung, üblicherweise auch als zentralisierte Luftversorgungsart bezeichnet. Das Schema der Reinigung von Klimaanlagen (Luftbehandlungsgeräte ahu) im Klimaanlagenraum, die Reinigung aller Klimaanlagen-Zuluftreinigungen wurden im Klimaanlagenreinigungsgerät und in der Heiß- und Nassbehandlung durchgeführt, und der große Zuluftkanal wird die gesamte Luft versorgen Um den Reinraum zu reinigen, befindet sich oben in der Reinraumdecke auf dem Terminal ein Hepafilter oder ein leistungsfähiger Filter, um den gefilterten Innenraumluftauslass zu reinigen, um die für den Reinraumprozess erforderliche Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Sauberkeit und den Druckunterschied der Luft zu realisieren Zimmer, die rückluft im reinraum strömt durch den rücklufteinlass und den rückluftkanal und wird dann an die klimaanlage im klimaraum angeschlossen. Nach dem Mischen mit der Frischluft werden die Luftreinigung und die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung wiederholt. Dieses Schema kann in ein vollständiges Frischluftversorgungsschema (Gleichstromsystem) unterteilt werden. ein Rückluftprogramm; Das erste und das zweite Luftrückführungssystem sowie das Mau-Plus-FFU-System sind vier verschiedene Luftversorgungsarten. Dieses Luftversorgungsschema ist das am weitesten verbreitete Luftversorgungsschema für Reinräume, insbesondere für Reinräume mit Einwegströmung. Die Systemaufteilung dieses Luftversorgungsschemas ist klar und die Steuerung und Regelung von Luftmenge, Temperatur und Luftfeuchtigkeit sind einfach. Wenn jedoch der Reinheitsgrad höher ist und das Luftzufuhrvolumen größer ist, nimmt der Klimaanlagenraum eine große Fläche ein, das Volumen der Luftzufuhr- und -rückluftleitung nimmt eine große Fläche und Raum ein, die Luftzufuhr- und -rückluftleitung ist Lange ist der Restdruck des Luftzufuhrlüfters hoch, das Geräusch ist groß und die Luftzufuhr verbraucht eine große Menge Strom. Daher ist dieses Luftversorgungsschema besser für die Luftversorgung des Reinraums mit nicht unidirektionaler Strömung der unteren Ebene und weniger wirtschaftlich und angemessen für die Luftversorgung des Reinraums mit Einwegströmung über Ebene 5 geeignet.

1. Luftversorgungsschema von ahu mit Frischluft (Gleichstromsystem)

Das vollständige Frischluftreinigungs-Luftversorgungsschema wird in speziellen Luftversorgungsschemata für Reinräume verwendet, in denen keine Rückluft zulässig ist. Beispielsweise wird die Produktion von Reinraumprozessen in Brandgefahren der Klassen A und B eingestuft, oder es werden hochgiftige und andere schädliche Substanzen erzeugt, die im Reinluftversorgungssystem keine Luft zurücklassen dürfen.

2. Luftversorgungsschema der Primärluftrückführung

Das Luftversorgungsschema der Primärluftrückführung wird normalerweise im Reinraum mit hohem Heizwert oder hoher Feuchtigkeitsausbeute angewendet, und die Luftzufuhr zur Restwärme oder -feuchtigkeit in Innenräumen ist größer, gleich oder nahe an der Reinluftzufuhr im Nicht-Reinraum. Einweg-Reinraum mit niedrigem Reinheitsgrad.

3. Luftversorgungsschema der Reinigungsklimaanlage mit ahu Primär- und Sekundärluftrückführung

Um Energie zu sparen, eliminieren Sie die Luftwärme und die Wärme im Prozess der Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung gegeneinander, in der Reinraumreinigung ist die Luftzufuhrkapazität größer als die Luftzufuhrkapazität der Klimaanlage, um Restwärme und Feuchtigkeit zu eliminieren. es ist am besten, das erste und das zweite Luftrückführprogramm, die zweite Mischpunktauslegung im Systemluftversorgungspunkt zu verwenden, diese Seite ist das energiesparendste, das ökonomischste Luftversorgungsprogramm.

4.mau + rau Luftversorgungsschema zur Reinigung der Klimaanlage

Diese Lösung für mehrere Reinräume mehr Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit, unterschiedliche Anforderungen, die Ausbeute an Innenraumwärme und Feuchtigkeitsgehalt sind auch ähnlich, um sicherzustellen, dass jeder der Reinräume Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Genauigkeitsanforderungen, einzurichten Mehrzyklus-Einheit, Kreisluftleistung der Einheit ist, um die Luftleistung zu reinigen, und innerhalb der Einheit, richten Sie die notwendige Wärme-, Nass-Aufbereitungsanlagen, um den Mangel an der Frischluft-Einheit Wärme-, Nass-Prozess zu ergänzen und sicherzustellen, dass die sauber Feinabstimmung der Raumtemperatur und Luftfeuchtigkeit. Da sich die Umwälzeinheit an der Decke des Reinraums befindet, ist der Restdruck der Luftzufuhr der Umwälzeinheit relativ gering, das Volumen der Einheit und die Geräusche und Vibrationen der Einheit sind ebenfalls gering, und der Rückluftkanal ist klein relativ kurz. Es ist jedoch darauf zu achten, dass das Kondenswasser aus der Zirkulationseinheit abfließt. Die Frischlufteinheiten in diesem Schema befinden sich im Klimaraum. Die gesamte Frischluft, die für diese Reinräume benötigt wird, wird durch die Frischlufteinheiten (MAU) und die zentrale Behandlung von Wärme und Feuchtigkeit gereinigt. es wird dann auf jede Kreislaufeinheit verteilt und mit seiner Rückluft vermischt. Das Frischluftvolumen der Frischlufteinheit sollte nicht nur die Abluft jedes Reinraums ergänzen, sondern auch den Überdruck jedes Reinraums sicherstellen. Die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung der Frischluftanlage sollte besser auf den mechanischen Taupunkt der Luft in einem Reinraum gehen. Wenn der Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungspunkt der Frischluft niedriger als der mechanische Taupunkt des Reinraums ist, trägt die Frischluft nicht nur die Nasslast der Frischluft selbst, sondern beseitigt auch die Nasslast des Reinraums. Zu diesem Zeitpunkt kann der Oberflächenkühler in der Umwälzeinheit ein trockener Oberflächenkühler sein.

Das Schema der Reinigung der Luftzufuhr und der Trennung der Luftzufuhr von der Klimaanlage wird üblicherweise als semi-zentrales oder dezentrales Luftzufuhrschema bezeichnet. Um den Energieverbrauch der Laufzeit erheblich zu senken, wird durch das Raumklimagerät (mau) die im Innenraum verbleibende saubere Wärme und die feuchte Klimatisierungsluftleistung (in der Regel deutlich geringer als im Reinraum zur Reinigung der Klimatisierungsluftleistung) notwendig, um zu eliminieren Reinigung und Heiß-Nass-Verarbeitung, und die Summe von 50 bis 90% der Reinheitsgarantie des Reinraums zur Reinigung des Luftstroms durch den Reinraum in der Nähe der Umwälzeinheit zur Reinigung und Hinzufügung von Heiß-, Nass-Verarbeitung oder direktem Einsatz von Druckköpfen an den Deckenventilator-Filtereinheiten) und der Trockenspule, um den Reinraumreinheitsgrad und die Temperatur der Feinabstimmung zu ermitteln. Dieses Luftversorgungsschema, das von der Luftversorgung durch eine Klimaanlage getrennt ist, kann nicht nur Energie für den Betrieb einsparen, sondern auch die Fläche des Klimaraums erheblich reduzieren, die riesige Luftversorgungs- und -rückführungsleitung einsparen und die Raumhöhe der Reinigung verringern Zimmer. Ein solches Reinigungsluftversorgungsschema kann unterteilt werden in: Klimaanlagen (ahu), Gebläsefilter (ffu), Frischluft (mau), Kreislauf (rau), Add (ffu); Frischlufteinheit (mau) + Gebläsefiltereinheit (ffu) + trockener kalter Schlauch

(dc) und drei andere Luftversorgungspläne.

1. luftversorgungsschema der klimaanlagen ahu (mau) und lüfterfilteranlagen (ffu) in diesem schema werden alle wärme- und feuchtlasten der klimaanlage (wärme- und feuchtlasten im reinraum und wärme- und feuchtlasten frischer luft erzeugt ) werden von den im Klimaraum befindlichen Klimaanlagen getragen. Zu diesem Zeitpunkt ist die Luftversorgung des Klimageräts die Luftversorgung, um die Restwärme und Luftfeuchtigkeit des Systems zu beseitigen (einschließlich der gesamten Frischluft und etwas Rückluft, jedoch weit weniger als die Reinigungsluftversorgung, um die Sauberkeit des Klimageräts zu gewährleisten Reinraum), und es sollte in der Lage sein, die konstante Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit des Reinraums zu gewährleisten. die reinheit des reinraums wird durch eine lüfterfilteranlage (ffu) an der decke des reinraums gewährleistet, die die gereinigte luft zirkuliert und filtert. In diesem Schema ist zu beachten, dass die während des Betriebs von ffu erzeugte Wärme auch von der Klimaanlage getragen werden sollte. Dieses Schema eignet sich besser für Reinräume mit gemischter Strömung und vertikaler unidirektionaler Teilströmung in großen Reinräumen mit nicht unidirektionaler Strömung.

2. Frischlufteinheit (mau) plus (he) Kreislaufeinheit und Gebläsefiltereinheit (Kopf) zur Reinigung des Klimaanlagen-Luftversorgungsschemas, wobei dieses Schema für mehr Reinraumsauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit, unterschiedliche Anforderungen, die Ausbeute an Innenraumwärme und Feuchtigkeitsgehalt sind auch ähnlich, um sicherzustellen, dass jeder der Reinraum Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Präzision Anforderung, um mehrere Zyklus-Einheit einzurichten, kreisförmige Luftleistung der Einheit ist die Luftleistung zu reinigen, und innerhalb der Einheit, Einrichten der erforderlichen Wärme- und Nassaufbereitungsanlagen, um den Mangel an Wärme- und Nassaufbereitungsanlagen der Frischlufteinheit auszugleichen und die Feinabstimmung der Reinraumtemperatur und -feuchtigkeit zu gewährleisten. Da sich die Umwälzeinheit an der Decke des Reinraums befindet, ist der Restdruck der Luftzufuhr der Umwälzeinheit relativ gering, das Volumen der Einheit und die Geräusche und Vibrationen der Einheit sind ebenfalls gering, und der Rückluftkanal ist klein relativ kurz. Es ist jedoch darauf zu achten, dass das Kondenswasser aus der Zirkulationseinheit abfließt. Die Frischlufteinheiten in diesem Schema befinden sich im Klimaraum. Die gesamte Frischluft, die für diese Reinräume benötigt wird, wird durch die Frischlufteinheiten (MAU) und die zentrale Behandlung von Wärme und Feuchtigkeit gereinigt. es wird dann auf jede Kreislaufeinheit verteilt und mit seiner Rückluft vermischt. Das Frischluftvolumen der Frischlufteinheit sollte nicht nur die Abluft jedes Reinraums ergänzen, sondern auch den Überdruck jedes Reinraums sicherstellen. Die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung der Frischluftanlage sollte besser auf den mechanischen Taupunkt der Luft in einem Reinraum gehen. Wenn der Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungspunkt der Frischluft niedriger als der mechanische Taupunkt des Reinraums ist, trägt die Frischluft nicht nur die Nasslast der Frischluft selbst, sondern beseitigt auch die Nasslast des Reinraums. Zu diesem Zeitpunkt kann der Oberflächenkühler in der Umwälzeinheit ein trockener Oberflächenkühler sein.

wenn mehr als eine in den Reinraum eine Reihe von Level 1, 10, 100 hohe Reinigungsstufe des vertikalen Gleichstrom-Reinraums, um die Belastung der Umwälzeinheit (er) zu reduzieren und Luftkanalabschnitt zu senden und zurückzukehren, die Zirkulation Einheit lösen nur die Luftleistung der Reinraumklimaanlage, um die Reinraumtemperatur, die relative Luftfeuchtigkeit und den Reinraumüberdruck zu gewährleisten, und zum größten Teil entfallen mehr als 90% der Lieferung auf die Reinraumdecke am Kopf zu belasten, um die hohe Sauberkeit des Reinraums zu gewährleisten. 3. Frischlufteinheit (mau) plus Gebläsefiltereinheit (Kopf) und trockenes Kühlrohr (dc) des Luftreinigungsplans ist die Frischluft, die von der Frischluftbesatzung zum Reinigen des Raums heiß und nass als Linie und relative Luftfeuchtigkeit unter 95% der Linie geleitet wird Kreuzung, Frischluftfeuchtigkeitsbelastung der Besatzung wird nicht nur selbst, sondern auch die saubere Innenfeuchtigkeitsbelastung der Frischluftgeräte belasten, um sicherzustellen, dass die relative Luftfeuchtigkeit des Reinraums benötigt wird. Die trockene Kühlleistung des nicht ausreichenden Teils der Wärmebehandlung der Frischluftanlage wird durch den an der Decke des Reinraums (oder im Tunnel) befindlichen Trockenflächenkühler ergänzt. da sich der trockentischkühler an der abgehängten decke oder im tunnel befindet, durch den die ffu-zirkulationsluft strömt, wird die trockenkühllast der trockenen tischkühlung durch die zirkulationsluft in den reinraum gebracht. Die von der Frischlufteinheit aufbereitete Frischluft wird über Rohrleitungen, die sich am gleichmäßigsten mit der Umluft vermischen lassen, zum statischen Luftversorgungskasten im Reinraum geleitet. ffu ist an der Decke des Reinraums angeordnet. Die mit Frischluft vermischte Umluft wird von FFU gefiltert und in den Reinraum geleitet, nachdem sie von einem Hepafilter gefiltert wurde, um die Sauberkeit des Reinraums zu gewährleisten. Die Spezifikationen von ffu sind hauptsächlich 1200 mm × 600 mm und 1200 mm × 1200 mm, wobei die Querschnittswindgeschwindigkeit ≥ 0,45 m / s, der Restdruck ≥ 120 Pa und das Geräusch ≤ 50 dB (a) sein sollten. Die Luftmenge des Lüfters sollte einstellbar sein, und der Hochleistungsfilter sollte austauschbar sein. Die trockene kalte Spule besteht im Allgemeinen aus zwei Reihen. Um den Abstand zwischen den Aluminiumlamellen des Widerstands ≥3 mm zu verringern, sollte der Widerstandsverlust 30 ~ 40 Pa betragen. die Oberflächenwindgeschwindigkeit des durch die Trockenspule zirkulierenden Windes ist & lt; 2 m / s, und es ist besser, 1,5 m / s zu sein. Die Einlasswassertemperatur in das kalte Wasser der Trockenspule sollte 2 ℃ höher sein als die Taupunkttemperatur des Reinraums, die normalerweise als mittelkaltes Wasser bezeichnet wird. Obwohl es sich um eine Trockenschlange handelt, kann sich während der ersten Inbetriebnahme Kondensat bilden. Daher sollte die Trockenschlange auch über eine Kondensatwanne und Abflussmaßnahmen verfügen.

Bei diesem Schema wird die relative Luftfeuchtigkeit des Reinraums durch die Frischlufteinheit (mau), die Temperatur des Reinraums durch die trockene Kühlschlange und die Sauberkeit des Reinraums durch ffu garantiert. die mau plus Kopf und Reinigung von DC-Klimaanlagen Luftversorgung planen, derzeit in unserem Land und ausländischen Mikroelektronik (IC) Industrie, optoelektronische (TFT - LCD, LCD, LED, etc.) Industrie und so weiter in der großen Fläche, hoch Reinheitsgrad saubere Werkstatt werden weit verbreitet, es hat bequeme Anpassung, Energieeinsparung erheblich, um sich an den Prozess der Aufrüstung anzupassen, und Nichtproduktionsbereich und die Vorteile des Nichtproduktionsraums groß zu sparen. Darüber hinaus wird mit der kontinuierlichen Entwicklung und dem Fortschritt von sauberer Technologie und sauberer Ausrüstung die Effizienz des ffu-Lüfters kontinuierlich verbessert, der Energieverbrauch wird kontinuierlich reduziert und der Gesamtpreis wird kontinuierlich reduziert. Die anfängliche Investition ist im Grunde die gleiche wie bei anderen Arten von Luftversorgungsprogrammen, aber die Betriebskosten werden erheblich gespart.