(a) Reinigung der Klimaanlage Teilungsprinzip

1. Sauberkeit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Genauigkeit eines gleichen oder ähnlichen Reinraums sollten in ein Reinigungsklimasystem unterteilt werden. Sauberkeit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit lassen sich leicht kontrollieren. 2. Die nahe beieinander liegenden Reinräume sollten als System klassifiziert werden, wodurch die Länge der Systemleitungen und die Kreuzung der Leitungen reduziert werden können.

3. Wenn die Bedingungen es erlauben, kann das Mischstrom-Reinigungssystem einer Klimaanlage aus 4, 5 unidirektionalen Strömen und 6, 7 und 8 nicht unidirektionalen Strömen bestehen.

4. Reinräume sollten nicht mit allgemeinen Klimaanlagen als System kombiniert werden.

5. Die Nutzung ist gesetzlich nicht geregelt und die Nutzungszeit ist unterschiedlich, da Reinräume nicht für die Verwendung einer Reinigungsklimaanlage geeignet sind.

6. Staubentwicklung, Hitze, Schadstoffe und Lärm sollten in Räumen als separate Systeme ausgeführt sein.

7. Räume, die hochgiftig sind und nach dem Mischen Feuer und Explosionen verursachen, dürfen nicht zu einem Reinigungsklimasystem zusammengefasst werden.

8. Es gibt hochgiftige, brennbare und explosive Stoffe in den Räumen A und B, die über ein separates System verfügen sollten und keine Luftrückführung in das Gleichstromsystem ermöglichen.

9. Eine Reinigungsklimaanlage darf nicht einfach zu groß sein. Im Allgemeinen sollte das Fördervolumen der Reinigungsluft 100.000 m3 nicht überschreiten. Andernfalls ist die Luftaufbereitungsanlage zu groß und laut, der Rückluftkanal ist groß, nimmt viel Platz und Fläche ein und die Nutzung ist nicht flexibel.

10. Bei der Aufteilung des sauberen Klimaanlagensystems muss auch die Anordnung der Luftkanäle, Rücklaufkanäle, Abluftkanäle und Wasser-, Strom-, Gas- und anderen Rohrleitungen berücksichtigt werden, um eine möglichst vernünftige, kurze und benutzerfreundliche Verwaltung zu gewährleisten und Kreuzungen und Überlappungen zu reduzieren.

11. Die Wärme-, Feuchtigkeits- und Reinigungsbehandlung der Frischluft in der Klimaanlage kann zentral oder dezentral erfolgen

Das Prinzip der Aufteilung des lokalen Abluftsystems der Prozessausrüstung

1. Das Teilabluftsystem der Prozessausrüstung sollte nicht zu groß sein und die Abluftpunkte jedes Abluftsystems sollten nicht zu groß sein, damit die Abluftverwaltung und -einstellung bequem ist und die Abluftwirkung gut ist.

2. Ein Abluftsystem sollte nicht zwei oder mehr Reinigungsklimaanlagen kreuzen.

3. Die Abluft, die nach dem Mischen hochgiftige, explosive, feuergefährliche, kondensierende, kristallisierende und gesundheitsschädliche Stoffe erzeugt, darf nicht in einem Abluftsystem zusammengeführt werden.

4. Die Abluft verschiedener Räume und Geräte darf nicht in einer Abluftanlage zusammengeführt werden.

5. Vergleich und Auswahl der Luftversorgungsart einer Reinraum-Reinigungsklimaanlage

(a) Kombinierte Luftversorgung mit Reinigungs- und Klimatisierungsfunktion, üblicherweise auch als zentralisierte Luftversorgung bezeichnet. Das Schema der Reinigungsklimaanlagen (Luftbehandlungsgeräte AHU) in Klimatisierungsräumen, die Reinigung aller Klimaanlagen-Zuluftreinigung wurde in Reinigungsklimaanlagen und heißen, nassen Verarbeitung durchgeführt, und der große Zuluftkanal wird die gesamte Luftzufuhr zum Reinraum-Condole-Top, Repass befindet sich in der Reinraumdecke Am Terminal werden HEPA-Filter oder effiziente Filter verwendet, um die Luftzufuhr im Innenbereich zu reinigen und die für den Reinraumprozess erforderlichen Temperatur-, Feuchtigkeits- und Sauberkeitswerte sowie den Druckunterschied im Raum zu gewährleisten. Die Rückluft im Reinraum strömt durch den Rücklufteinlass und den Rückluftkanal und wird dann mit der Reinigungsklimaanlage im Klimaraum verbunden. Nach dem Mischen mit der Frischluft werden die Luftreinigung sowie die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung wiederholt. Dieses Schema kann in ein Schema zur vollständigen Frischluftzufuhr (DC-System) unterteilt werden; Ein Luftrückführungsprogramm; Das erste und das zweite Luftrückführungsschema sowie die MAU- und FFU-Schemata sind vier verschiedene Luftzufuhrtypen. Dieses Luftversorgungsschema ist das am häufigsten verwendete Luftversorgungsschema für Reinräume, insbesondere Reinräume ohne Einbahnstraßen-Luftstrom. Die Systemaufteilung dieses Luftversorgungsschemas ist klar und die Steuerung und Regelung von Luftmenge, Temperatur und Luftfeuchtigkeit erfolgt einheitlich. Wenn jedoch der Sauberkeitsgrad höher und das Luftzufuhrvolumen größer ist, nimmt der Klimaraum eine große Fläche ein, das Volumen der Luftzufuhr- und -abluftleitung nimmt eine große Fläche und viel Platz ein, die Luftzufuhr- und -abluftleitung ist lang, der Restdruck des Luftzufuhrlüfters ist hoch, der Lärm ist groß und die Luftzufuhr verbraucht eine große Menge Strom. Daher ist dieses Luftversorgungsschema besser für die Luftversorgung des Reinraums mit nicht-unidirektionalem Luftstrom auf der unteren Ebene geeignet und weniger wirtschaftlich und sinnvoll für die Luftversorgung des Reinraums mit Einweg-Luftstrom über Ebene 5.

1. Luftversorgungsschema der RLT-Anlage mit Frischluft (Gleichstromsystem)

Das Luftversorgungsschema mit vollständiger Frischluftreinigung wird in speziellen Luftversorgungsschemata für Reinräume verwendet, in denen keine Rückluft zulässig ist. Beispielsweise wird bei der Produktion im Reinraum die Brandgefahrstufe A oder B berücksichtigt oder es entstehen hochgiftige und andere Schadstoffe, die nicht in das Reinluftversorgungssystem zurückgeführt werden dürfen.

2. Luftversorgungsschema der Primärluftrückführung der AHU

Das Luftzufuhrschema der Primärluftrückführung wird üblicherweise in Reinräumen mit hohem Heizwert oder Feuchtigkeitsertrag verwendet, und die Luftzufuhr mit Restwärme oder -feuchtigkeit im Raum ist größer, gleich oder nahe an der Reinigungsluftzufuhr in Reinräumen ohne Einbahnstraßenströmung mit niedrigem Reinheitsgrad.

3. Luftversorgungsschema einer Reinigungsklimaanlage mit AHU-Primär- und Sekundärluftrückführung

Um Energie zu sparen, gleichen sich Wärmeabfuhr und Wärmezufuhr während des Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungsprozesses gegenseitig aus. Wenn die Kapazität der Reinigungsluft im Reinraum größer ist als die Kapazität der Luftzufuhr zur Beseitigung von Restwärme und -feuchtigkeit, ist es am besten, das erste und zweite Luftrückführungsprogramm zu verwenden und den zweiten Mischpunkt im Luftzufuhrpunkt des Systems zu entwerfen. Auf dieser Seite wird die meiste Energie gespart und das Luftzufuhrprogramm ist am wirtschaftlichsten.

4.MAU+RAUs Luftversorgungsschema für die Reinigungsklimaanlage

Diese Lösung erfüllt die unterschiedlichen Anforderungen an Sauberkeit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit in Reinräumen. Auch die Wärme- und Feuchtigkeitsabgabe im Raum ist ähnlich. Um die Anforderungen an Sauberkeit, Temperatur und Präzision in Reinräumen zu erfüllen, wird eine Mehrkreiseinheit eingerichtet. Der Luftauslass der Einheit dient zum Reinigen der austretenden Luft. In der Einheit wird die erforderliche Wärme- und Nassverarbeitungsausrüstung eingerichtet, um den Mangel an Frischluft in der Einheit zu ergänzen. Außerdem wird eine Nassverarbeitungssektion eingerichtet, um die Präzision der Temperatur und Luftfeuchtigkeit im Reinraum zu gewährleisten. Da sich die Umwälzeinheit an der Decke des Reinraums befindet, ist der Restdruck der Luftzufuhr der Umwälzeinheit relativ gering, das Volumen der Einheit sowie die Geräusche und Vibrationen der Einheit sind ebenfalls gering und der Rückluftkanal ist relativ kurz. Allerdings muss auf die Kondensatableitung der Umwälzeinheit geachtet werden. Die Frischlufteinheiten in diesem Schema befinden sich im Klimaraum und die gesamte für diese Reinräume benötigte Frischluft wird durch die Frischlufteinheiten (MAU) und die zentrale Behandlung von Wärme und Feuchtigkeit gereinigt. Anschließend wird es an jede Zykluseinheit verteilt und mit deren Rückluft vermischt. Die Frischluftmenge der Frischluftanlage soll nicht nur die Abluft jedes Reinraums ergänzen, sondern auch den Überdruck jedes Reinraums sicherstellen. Die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung der Frischlufteinheit sollte sich am besten an den mechanischen Taupunkt der Luft im Reinraum anpassen. Liegt der Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungspunkt der Frischluft unter dem mechanischen Taupunkt des Reinraums, trägt die Frischluft nicht nur die Feuchtigkeit der Frischluft selbst, sondern beseitigt auch die Feuchtigkeit des Reinraums. In diesem Fall kann der Oberflächenkühler in der Umwälzeinheit ein Trockenoberflächenkühler sein.

Das Schema der gereinigten Luftzufuhr und der Trennung der Luftzufuhr von der Klimaanlage wird üblicherweise als halbzentrales oder dezentrales Luftzufuhrschema bezeichnet. Um den Energieverbrauch während der Laufzeit deutlich zu senken, wird die verbleibende warme und feuchte Luft der Klimaanlage im Reinraum eliminiert (normalerweise ist sie wesentlich geringer als die Luft, die in Reinräumen gereinigt wird), und die Raumlufteinheit der Klimaanlage (MAU) wird zur Reinigung und Nassverarbeitung benötigt. Um insgesamt 50 bis 90 % der Reinheit des Reinraums zu gewährleisten, wird die Luft, die durch die Umwälzeinheit in der Nähe des Reinraums zur Reinigung und Nassverarbeitung ausgegeben wird, hinzugefügt oder es werden Filtereinheiten und Trockenspulen direkt am Deckenventilator verwendet, um die Reinheit und Temperatur des Reinraums fein abzustimmen. Dieses Luftversorgungsschema, das von der Luftzufuhr durch die Klimaanlage getrennt ist, kann nicht nur Energie für den Betrieb sparen, sondern auch die Fläche des Klimaraums erheblich reduzieren, die riesigen Luftzufuhr- und -rückführungsleitungen einsparen und die Raumhöhe des Reinraums verringern. Ein solches Schema zur Zufuhr von Reinigungsluft kann wie folgt unterteilt werden: Schema mit Klimaanlage (AHU) und Lüfterfiltereinheit (FFU), Schema mit Frischlufteinheit (MAU) und Zykluseinheit (RAU) sowie Schema mit Frischlufteinheit (FFU); Frischlufteinheit (MAU) + Lüfterfiltereinheit (FFU) + Trockenkühlrohr

(DC) und drei weitere Luftversorgungssysteme.

1. Luftversorgungsschema der Klimaanlagen AHU (MAU) und Fan-Filter-Einheiten (FFU). In diesem Schema werden alle Wärme- und Feuchtigkeitslasten der Klimaanlage (im Reinraum erzeugte Wärme- und Feuchtigkeitslasten sowie Wärme- und Feuchtigkeitslasten der Frischluft) von den im Klimaraum befindlichen Klimaanlagen getragen. Zu diesem Zeitpunkt dient die Luftzufuhr der Klimaanlage dazu, die Restwärme und -feuchtigkeit des Systems zu beseitigen (einschließlich der gesamten Frischluft und etwas Rückluft, aber weit weniger als die Reinigungsluftzufuhr, um die Sauberkeit des Reinraums sicherzustellen) und sollte in der Lage sein, eine konstante Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum sicherzustellen. Die Sauberkeit des Reinraums wird durch eine Fan-Filter-Unit (FFU) an der Decke des Reinraums gewährleistet, die die gereinigte Zuluft zirkulieren und filtern lässt. Bei diesem Schema ist zu beachten, dass die beim Betrieb der FFU entstehende Wärme auch von der Klimaanlage abgeführt werden muss. Dieses Schema eignet sich besser für Reinräume mit gemischter Strömung und teilweiser vertikaler unidirektionaler Strömung in großen Reinräumen mit nicht unidirektionaler Strömung.

2. Frischlufteinheit (MAU) plus (he) Zykluseinheit und Lüfterfiltereinheit (Kopf) zum Reinigen des Luftzufuhrschemas der Klimaanlage. Dieses Schema hat mehrere Reinräume mit unterschiedlichen Anforderungen an Sauberkeit, Temperatur, Feuchtigkeit und Raumwärme sowie an den Feuchtigkeitsgehalt im Raum. Um sicherzustellen, dass alle Reinräume die Sauberkeit, Temperatur, Feuchtigkeit und Präzisionsanforderungen erfüllen, werden mehrere Zykluseinheiten eingerichtet. Der Kreislaufluftauslass der Einheit dient zum Reinigen der austretenden Luft. In der Einheit werden die erforderlichen Wärme- und Nassverarbeitungsgeräte eingerichtet, um den Mangel an Wärme und Nassverarbeitung der Frischlufteinheit zu ergänzen und eine präzise Feineinstellung der Temperatur und Feuchtigkeit im Reinraum sicherzustellen. Da sich die Umwälzeinheit an der Decke des Reinraums befindet, ist der Restdruck der Luftzufuhr der Umwälzeinheit relativ gering, das Volumen der Einheit sowie die Geräusche und Vibrationen der Einheit sind ebenfalls gering und der Rückluftkanal ist relativ kurz. Allerdings muss auf die Kondensatableitung der Umwälzeinheit geachtet werden. Die Frischlufteinheiten in diesem Schema befinden sich im Klimaraum und die gesamte für diese Reinräume benötigte Frischluft wird durch die Frischlufteinheiten (MAU) und die zentrale Behandlung von Wärme und Feuchtigkeit gereinigt. Anschließend wird es an jede Zykluseinheit verteilt und mit deren Rückluft vermischt. Die Frischluftmenge der Frischluftanlage soll nicht nur die Abluft jedes Reinraums ergänzen, sondern auch den Überdruck jedes Reinraums sicherstellen. Die Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlung der Frischlufteinheit sollte sich am besten an den mechanischen Taupunkt der Luft im Reinraum anpassen. Liegt der Wärme- und Feuchtigkeitsbehandlungspunkt der Frischluft unter dem mechanischen Taupunkt des Reinraums, trägt die Frischluft nicht nur die Feuchtigkeit der Frischluft selbst, sondern beseitigt auch die Feuchtigkeit des Reinraums. In diesem Fall kann der Oberflächenkühler in der Umwälzeinheit ein Trockenoberflächenkühler sein.

Wenn mehr als ein Reinraum über eine Anzahl von vertikalen Uniflow-Reinräumen der Stufen 1, 10 und 100 mit hoher Reinigungsstufe verfügt, wird zur Reduzierung der Belastung der Zirkulationseinheit (HE) und des Zu- und Abluftkanalabschnitts die Zirkulationseinheit nur die Uniflow-Reinraum-Klimaanlage mit Luftaustritt lösen, um die Reinraumtemperatur, die relative Luftfeuchtigkeit und den Reinraumüberdruck sicherzustellen, und der Großteil der Lieferung macht mehr als 90 % aus. Reinraumdecke Paneele auf dem Kopf zu belasten, um das hohe Maß an Sauberkeit des Reinraums zu gewährleisten. 3. Der Plan zur Luftversorgung der reinigenden Klimaanlage besteht aus einer Frischlufteinheit (MAU) plus einer Lüfterfiltereinheit (Kopf) und einem Trocken-/Kaltluftrohr (DC). Die Frischluft wird in den Reinraum geliefert, wo die Frischluft heißer und feuchter ist als die Linie und die relative Luftfeuchtigkeit unter 95 % liegt. Die Frischluftbelastung der Besatzung wird nicht nur die Feuchtigkeitsbelastung der Besatzung selbst belasten, sondern auch die Feuchtigkeitsbelastung des Reinraums. Die Frischlufteinheit muss sicherstellen, dass die relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum aufrechterhalten wird. Die Trockenkühllast des unzureichenden Teils der Wärmebehandlung der Frischlufteinheit wird durch den an der Decke des Reinraums (oder im Tunnel) angebrachten Trockenoberflächenkühler ergänzt. Da sich der Trockentischkühler an der Zwischendecke oder im Tunnel befindet, durch den die Umluft der FFU strömt, wird die durch die Trockentischkühlung gedeckte Trockenkühllast durch die Umluft in den Reinraum gebracht. Die von der Frischlufteinheit aufbereitete Frischluft wird über Rohrleitungen in die statische Druckkammer der Luftversorgung im Reinraum geleitet und kann dort optimal mit der Umluft der FFU vermischt werden. Die FFU ist an der Decke des Reinraums angebracht. Die mit Frischluft vermischte Umluft wird von der FFU gefiltert und nach der Filterung durch einen HEPA-Filter in den Reinraum geleitet, um die Sauberkeit des Reinraums zu gewährleisten. Die Spezifikationen der FFU betragen hauptsächlich 1200 mm × 600 mm und 1200 mm × 1200 mm, wobei die Abschnittswindgeschwindigkeit ≥ 0,45 m/s, der Restdruck ≥ 120 Pa und der Lärm ≤ 50 dB(A) betragen sollte. Die Luftmenge des FFU-Lüfters sollte einstellbar sein, der Hochleistungsfilter sollte austauschbar sein. Die Trockenkühlschlange besteht in der Regel aus zwei Reihen. Um den Abstand zwischen den Aluminiumlamellen mit einem Widerstand von ≥ 3 mm zu verringern, sollte der Widerstandsverlust 30–40 Pa betragen. Die Oberflächenwindgeschwindigkeit des zirkulierenden Windes durch die Trockenschlange beträgt < 2 m/s, besser 1,5 m/s. Die Wassereintrittstemperatur in das Kaltwasser der Trockenspule sollte 2 °C höher sein als die Taupunkttemperatur des Reinraums, üblicherweise als mittelgekühltes Wasser bezeichnet. Obwohl es sich um eine Trockenspule handelt, kann es bei der Inbetriebnahme zu Kondensatbildung kommen, daher sollte die Trockenspule auch über eine Kondensatauffangschale und Abflussvorrichtungen verfügen.

In diesem Schema wird die relative Luftfeuchtigkeit des Reinraums durch die Frischlufteinheit (MAU), die Temperatur des Reinraums durch die Trockenkühlspule und die Sauberkeit des Reinraums durch die FFU gewährleistet. Der MAU-Plus-Kopf und die DC-Klimaanlagen-Luftversorgungsanlage sind derzeit in den großen Bereichen der Mikroelektronik (IC), der Optoelektronik (TFT-LCD, LCD, LED usw.) usw. in unserem und im Ausland weit verbreitet. Reinraumwerkstätten mit hoher Sauberkeitsqualität sind leicht zu bedienen, können deutlich energiesparender angepasst werden und passen sich an den Modernisierungsprozess an. Außerdem werden dadurch viel Nicht-Produktionsfläche und andere Vorteile gespart. Darüber hinaus wird durch die kontinuierliche Weiterentwicklung sauberer Technologien und sauberer Geräte die Effizienz des FFU-Lüfters kontinuierlich verbessert, der Stromverbrauch kontinuierlich gesenkt und der Gesamtpreis kontinuierlich reduziert. Die Anfangsinvestition ist grundsätzlich die gleiche wie bei anderen Arten von Luftversorgungssystemen, die Betriebskosten werden jedoch erheblich gespart.