Die Sauberkeit eines Reinraums wird oft durch den Luftstrom beeinflusst. Anders ausgedrückt: Die Bewegung und Verbreitung des von Menschen, Maschinenräumen und Gebäudestrukturen erzeugten Staubs wird durch den Luftstrom bestimmt.
Der Reinraum verwendet HEPA und ULPA zur Luftfilterung. Die Staubsammelrate beträgt 99,97 bis 99,99995 %, sodass die von diesem Filter gefilterte Luft als sehr sauber gilt. Neben Menschen gibt es jedoch auch Staubquellen im
Reinraum
, wie z. B. Maschinen. Sobald sich der entstehende Staub verteilt, kann der Raum nicht mehr sauber gehalten werden. Daher muss der entstehende Staub durch einen Luftstrom schnell nach außen abgeleitet werden.
Windgeschwindigkeitsregelung
Der Luftstrom im Reinraum ist ein wichtiger Faktor für dessen Leistung. Die Luftstromgeschwindigkeit im Reinraum liegt in der Regel zwischen 0,25 und 0,5 m/s. Diese Luftstromgeschwindigkeit gehört zum Windbereich, der anfällig für Störungen durch Menschen, Maschinen usw. ist und zu Störungen neigt. Eine Erhöhung der Windgeschwindigkeit kann zwar diese Störungen reduzieren und die Sauberkeit gewährleisten, erhöht jedoch die Betriebskosten. Daher sollte die optimale Windgeschwindigkeit gewählt werden, um den erforderlichen Sauberkeitsgrad zu erreichen. Eine optimale Windgeschwindigkeit trägt zu wirtschaftlichen Ergebnissen bei.
Um eine stabile Reinraumsauberkeit zu erreichen, ist die Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Luftstroms ebenfalls ein wichtiger Faktor. Kann ein gleichmäßiger Luftstrom nicht aufrechterhalten werden, ist die Windgeschwindigkeit unterschiedlich. Insbesondere an der Wand erzeugt der Luftstrom Wirbel entlang der Wand. Eine hohe Sauberkeit zu erreichen, ist daher sehr schwierig.
Um einen gleichmäßigen Luftstrom in vertikaler laminarer Strömungsrichtung aufrechtzuerhalten, muss dieser:
(A) Es darf keinen Geschwindigkeitsunterschied zwischen den Winden auf der Anblasfläche geben.
(B) Die Windgeschwindigkeit auf der Saugfläche der Bodenrückluftplatte sollte konstant sein. Ist die Geschwindigkeit zu niedrig oder zu hoch (0,2 m/s, 0,7 m/s), entstehen Wirbelströme. Bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m/s ist der Luftstrom gleichmäßiger. Die Windgeschwindigkeit in Reinräumen liegt im Allgemeinen zwischen 0,25 und 0,5 m/s.
Einflussfaktoren
Es gibt viele Luftstromfaktoren, die den Reinraum beeinflussen, wie etwa Prozessausrüstung, Personal,
Reinraum-Montagematerialien
, Beleuchtungskörper etc. Gleichzeitig ist auch die Umleitungsstelle des Luftstroms oberhalb der Produktionsanlagen zu berücksichtigen.
Im Allgemeinen sollte der Luftstromumleitungspunkt auf der Oberfläche des Operationstisches oder der Produktionsausrüstung in der Entfernung zwischen dem Reinraum und dem
Reinraum-Trennwand
2/3, damit der Luftstrom während der Arbeit des Bedieners vom Inneren des Prozessbereichs zum Arbeitsbereich strömen kann. Der Staub wird abgeführt; wenn der Umleitungspunkt vor dem Prozessbereich platziert wird, führt dies zu einer ungeeigneten Umleitung des Luftstroms. Zu diesem Zeitpunkt strömt der größte Teil des Luftstroms in den Prozessbereich, und der durch die Arbeit des Bedieners verursachte Staub wird zur Rückseite des Geräts geleitet. Dies führt zu Verschmutzungen im Taiwan und einer unvermeidlichen Verringerung der Ausbeute.
Hindernisse wie Arbeitstische im Reinraum verursachen an den Verbindungsstellen Wirbelströme, und die Sauberkeit in deren Nähe ist relativ schlecht. Das Bohren von Rückluftlöchern in den Arbeitstisch minimiert die Wirbelströme. Auch die richtige Materialauswahl und die optimale Anordnung der Geräte sind wichtige Faktoren dafür, ob der Luftstrom zu einem Wirbelphänomen wird.
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