Was den Umfang und das technische Niveau des Reinraumbaus angeht, ist die Kluft zwischen meinem Land und den Industrieländern noch größer. Die japanische Shimizu Construction Company. Die von 1982 bis 1987 unter Vertrag genommene Reinraumfläche belief sich auf 718.000 Quadratmeter, während die Gesamtfläche der in meinem Land unter Vertrag genommenen Reinräume weniger als 100.000 Quadratmeter beträgt. Eine großartige Entwicklung. Die Gesamtfläche der unter Vertrag genommenen Reinräume belief sich 1993 auf fast 150.000 Quadratmeter. Der Umfang des Reinraumbaus in den USA ist sogar noch größer. Im Jahr 1998 erreichte die Statistik 1,885 Millionen Quadratmeter. Was das Niveau betrifft saubere Ingenieurtechnologie Ende der 1980er Jahre wurden im Ausland zahlreiche Reinräume der 0,1-Mikron-Klasse gebaut. 1987 errichtete das japanische Sanyo-Werk in Niigata eine 3.000 Quadratmeter große Reinraumwerkstatt der 10. Klasse, und NIT Logs baute vier weitere mit je 1.000 Quadratmetern. In der tausendstufigen Werkstatt werden Staubpartikel von 0,1 Mikron kontrolliert und die Luft wird 300-mal pro Minute ausgetauscht. Das neue US-amerikanische TSMCS-Werk in Taiwan hat einen Reinraum der vierten Generation mit Luftkanälen und einer Gesamtfläche von 10.000 Quadratmetern errichtet. Die in meinem Land genutzten Reinräume der 0,1-Mikron-Klasse 10 sind größtenteils auf Importe aus dem Ausland angewiesen. Da Reinräume mit einem hohen Reinheitsgrad sehr teuer sind, betragen die Kosten pro Quadratmeter für einen Reinraum der 0,1-Mikron-Klasse 10 bis zu 10.000 US-Dollar. Reinraumwerkstätten beanspruchen einen sehr hohen Anteil der Investitionen in Produktionsanlagen für integrierte Schaltkreise im großen Maßstab. Dies steht im Widerspruch zum Entwicklungstrend der kontinuierlichen Aktualisierung der Technologie für integrierte Schaltkreise und zu immer kürzeren Produktaustauschzyklen und schränkt die Entwicklung der Technologie für integrierte Schaltkreise im großen Maßstab ernsthaft ein. Die von der amerikanischen Firma ASYST und der deutschen Firma MW entwickelten Geräte und Technologien für Mikroumgebungssysteme zur Submikrometerproduktion mit Isolationstechnologie haben in den letzten Jahren weite Verbreitung gefunden. Diese neueste Reinraumtechnologie verwendet eine Mikroumgebung, in der die Prozessausrüstung teilweise Isolationstechnologie in einer Reinraumwerkstatt mit einem Reinheitsgrad von 100 % verwendet. Dadurch wird das Investitionsverhältnis auf eine Mikroumgebung auf hohem Niveau reduziert und die Quelle sekundärer Verschmutzung durch den Betrieb des Bedieners und der Prozessausrüstung eliminiert. Dies wirkt sich auf die Ausbeute und Zuverlässigkeit integrierter Schaltkreise aus.

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